在線氣相色譜儀是什么？
在線氣相色譜儀的結構主要包括電子壓力控制模塊、色譜模塊、數(shù)據(jù)處理模塊、接口模塊和顯示模塊，此外還包括防爆模塊等輔助單元。
采用電子壓力控制模塊調節(jié)載氣和樣氣的壓力，穩(wěn)壓后的載氣攜帶樣氣進入色譜模塊。色譜模塊由進樣器、色譜柱和檢測器組成，進樣器獲取一定量的樣氣后，送入色譜柱分離，最終由檢測器輸出檢測信號。數(shù)據(jù)處理模塊用于分析儀的工作流程控制，獲取色譜模塊的檢測器信號，經(jīng)處理得到氣體分析結果。接口電路實現(xiàn)分析儀和外部設備之間的數(shù)據(jù)和狀態(tài)信息的通訊，并進行反饋控制。
其中，在線氣相色譜模塊作為最核心部件，采用的是微型色譜技術，基于微電子機械系統(tǒng)技術(MEMS)在硅片上制造高質量、高精度微細進樣系統(tǒng)和高靈敏度的微細熱導檢測器。由于所有微細器件在硅片上完成，故這些器件的化學性能很穩(wěn)定，惰性好，工藝上重復性好，制造精度高。
進樣系統(tǒng)通過雙面刻蝕的硅片和鍵合技術形成微通道和微閥，將這些微通道和微閥組合起來形成不同類型的進樣器。同時，用陽極鍵合工藝將一片玻璃片和硅片鍵合在一起，形成微型熱導檢測器部件。采用MEMS技術的在線氣相色譜儀具有分析速度快、系統(tǒng)體積小、耗氣量少、檢測器靈敏度高等特點，非常適用于石化工業(yè)，如天然氣、煉廠氣、石油和天然氣勘探中的氣體分析。
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